KR
W-OLED Encapsulation System
W-OLED 증착 공정 이후 완벽한
Encapsulation 고정밀 합착 기술
인베니아는 전 세계 유일의 대면적 W-OLED(G8.5) 양산 실적을 보유하고 있으며, 물류 연동 및 연속 공정에 최적화된
In-Line Cluster 타입 아키텍처를 구현하고, 정밀 압력 제어로 최고 80℃에서 균일한 온도(신뢰성 오차 범위 ±1.5℃)를 유지하며,
동종 업계 최고 수준의 공정 속도(Pre-Aligner 90sec ↓, Hot Press 135sec ↓)를 제공합니다.
Pre-
Aligner
- Vision System (UVW, Vision 통합)
- Alignment Spec : ±1~20μm
- 진공 : 50mTorr
- GLASS 점착 : ASC or ESC 대응 가능
Hot
Press
- Heating (상온~80℃) System
- Cylinder 가압 방식 (개당 가압력Max 2,000kgf)
- 진공 : 50mTorr
- Pressing : 0.1~0.6MPa (균일도 < ±5%)
