디스플레이

Vacuum Chamber

청정 진공환경을 유지하는
Display 공정 물류의 핵심 Hub

초고진공 환경(약 5.0 x 10⁻⁵ Pa)을 실시간으로 유지해 이송 중 유기물 오염을 원천 차단하고,
물리적 마찰을 최소화한 이송 구동으로 초미세 입자(Particle) 발생을 최소화합니다.
여기에 인접 진공 챔버를 유기적으로 연결하는 모듈 인터페이스(Module Interface)를 적용해 공정 간 연동을 구현합니다.