KR
Vacuum Alignment System
오차 없는 완벽한 결합,
초정밀 대면적 진공 합착 Solution
마이크로미터(μm) 단위의 미세 정렬이 가능한 고정밀 Guide 및 Vision Alignment System과 대면적(G8.5) Glass 기판의 물리적 변형 및
휨을 방지하는 압력 제어 메커니즘을 갖추고, Cell 및 Panel 단위 합착 공정의 고속화를 통해 전체 라인의 Tact Time을 단축합니다.
VAS
- Vision System (UVW, Vision 통합)
- Alignment Spec : ±1~20μm
- 진공 : 50mTorr
- GLASS 점착 : ASC or ESC 대응 가능
