Vacuum Alignment System
精准无误的超精密大面积真空贴合解决方案
配备可实现微米级精细对位的高精度导向与视觉对位系统，以及防止大尺寸（G8.5）玻璃基板变形和翘曲的压力控制机构，通过加快单元与面板贴合工艺，缩短整条生产线的节拍时间。
VAS
- 视觉系统（UVW与视觉集成）
- Alignment Spec : ±1~20μm
- 真空度：50 mTorr
- 玻璃吸附：支持ASC或ESC
CN
显示设备
CNVacuum Alignment System
配备可实现微米级精细对位的高精度导向与视觉对位系统，以及防止大尺寸（G8.5）玻璃基板变形和翘曲的压力控制机构，通过加快单元与面板贴合工艺，缩短整条生产线的节拍时间。
