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AOI / Inspection

不放过任何微小缺陷的高性能视觉与外观检测解决方案

Pattern AOI通过高性能视觉算法实时检测并自动分类断路、短路及微小颗粒。MACRO Inspection通过多角度光学照明系统,实现基于目视及机器视觉的色斑(MURA)检测与管控。我们拥有适用于TFT、彩色滤光片、LTPS及OLED等显示领域的专用检测算法,可检测大尺寸(G8.5–G10.5)基板,并以每检测点不超过1.2秒的高速扫描提供快速、全面的检测能力。

OLED Backplane AOI 设备

OLED
Backplane AOI

  • 孔位及肋条表面异物与微小缺陷检测
  • 检出尺寸:≥ 3 μm(检出率95%)
  • 光学分辨率:1.5 μm(因规格而异)
  • 检测覆盖率:100%
  • (有效区域内无漏检区域)
TFT AOI 设备

TFT
AOI

  • TFT玻璃图形阵列缺陷及异物检测
  • Defect Resolution (Standalone : 3~5μm)
  • Final Inspection
  • 主要缺陷:阵列短路、断路及异物
CF AOI 设备

CF
AOI

  • CF玻璃表面各类缺陷检测
  • Defect Resolution (Standalone: 10μm / In-Line: 20μm)
  • Layer Inspected: BM, Red, Green, Blue, OC, CS
  • 主要缺陷:污渍、异物、划痕、黑点及白点
Manual Macro Inspection 设备

Manual Macro
Inspection

  • CF、TFT人工目视检测设备系列
  • 具备大面积缺陷及不均匀图形检测的专业技术
  • 载台等配置具有高度灵活性
  • 主要缺陷:光刻(R/G/B)行线不均及色斑(Mura)

定制解决方案

INVENIA根据客户产品特点与用途,灵活提供工艺及设计支持。
凭借经过客户技术评估验证的专业经验,支持量产环境所需的核心性能,
并提供定制咨询,提升工艺效率与可靠性。

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